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KINY旋转阴极

KINY阴极™

定制阴极交钥匙优质方案

新品定制

根据您机型选择垂直或水平方向盖板，搭配最先进成熟技术，最终以您工艺需求进行制定提供交钥匙工程。

技术亮点：

·排空概念™：可将旋转靶筒中空气完全排尽，解决水平镀膜尤其是由下向上溅射靶筒顶端存在空气的问题，主要用于卷绕膜、异质结、LOW-E等。

·摆动概念™：磁钢可独立于靶筒在线旋转角度。适用于面板显示、工具镀等。

·均匀性：±2.0%

阴极改造

根据您现有阴极尺寸制作盖板匹配外部机械机构及电气控制系统，其中使用KINY端头及磁钢。亦可根据现有您端头安装尺寸进行定制改造，融入更先进的技术进行升级，对于任何制造商的阴极，我们均拥有即插即用的端头。

平面阴极改造

根据您现有平面阴极尺寸制作盖板匹配外部机械机构及电气控制系统，将改造为旋转靶，提高靶材利用率至80%-90%，提高溅射速率，有效减少打弧稳定工艺，减少腔室内溅射物的附着，延长换靶周期降低保养成本。

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